小流量气体质量流量传感器
小流量气体传感器适用于各类清洁气体的应用。独特的封装技术使之可应用于各类管径（3～50mm）。成本低、易安装、不需温压补偿，可替代容积式或压差原理的传统流量计并可配以多种信号输出，通过通讯接口实现网络管理功能。
产品特点
传感器灵敏度搞，极小的始动流量
传感芯片采用热质量流量计量，无需温度及压力补偿，保障了传感器的高精度计量
在单个芯片上实现了多传感器集成，使传感器的量程比大大提高
8～24V供电
传感器零点稳定度较传统的热式质量流量计有极大的改善
结合二次仪表的微控制器智能技术，使该流量传感器重复性好，实现了计量准确可靠
独特的封装技术采用直接测量，无需旁路，压力损失大幅度减小
与智能流量计算机相连，可远传数据，也可现场显示
本传感器有RS485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理
用户根据需要可以选择4～20mA输出、电平输出或脉冲输出模块
体积小、安装方便
可用于小至3mm的管径，特别对于微流量测量和控制有其独特的优越性
传感器灵敏度高，有极小的始动流量
传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
在单个芯片上实现了多传感器集成，使传感器的量程比大大提高；
传感器的零点稳定度高
全量程高稳定性
全量程高精确度和优良的重复性
低功耗
低压损
响应时间快
技术参数
外形图
（ FSG4003 ）
（ FSG4008 ）
输出引线定义
通讯方式
本传感器通讯方式为 RS232 。
波特率 38400; 数据位 8; 停止位 1; 校验位 / 流控制 无。
按以下步骤读取数字信息：
a ）通过 RS232 向传感器送 0x9d （ 并取得返回信号 0x9d ）；
b ）通过 RS232 向传感器送 0x54 （并取得返回信号 0x54 ）；
c ）流量计进入操作模式， RS232 将每隔一秒输出一组数据：
V=vvvv\nF=ffffff\n A=0\n;\n
V=vvvv 电压内码值；
F=ffffff 瞬时流量（相当于 fff.fffNL/min 或者 SCCM ）
A=0 总流量（本传感器未提供总流量，故 A=0 ）。
按以下步骤停止数据通讯：
a ）通过 RS232 向传感器送 0x9d （并取得返回信号 0x9d ）；
b ）通过 RS232 向传感器送 0x00 （并取得返回信号 0x00 ）；
c ）流量计进入用户模式， RS232 数据通讯停止。
安装使用
1.打开产品包装盒，包装盒内应包含下列物品：
a ）气体质量流量传感器一只
b ）连接电缆一根 ( 或与传感器一体 )
c ） 用户手册一份
d ）合格证一份
2. 确认传感器无任何机械损坏。
3. 将传感器安装到管道上，保证前端有大于 10cm 的直管段，后端有大于 5cm 的直管段，并且直管段与传感器上的管道保持同心 , 传感器、直管段固定可靠。传感器、直管段应固定可靠，如图所示。
注意：安装使用时，要保证传感器前端有大于 10cm 的直管段，后端有大于 5cm 的直管段，并且直管段与传感器上的管道保持同心 , 传感器、直管段固定可靠。 如果不能保证直管段，矽翔公司将不保证传感器的精度。
4.将传感器的引线按照所给定义正确连接到使用装置上，屏蔽线接到保护地上。
5. 确认连接正确后，接通电源。
6. 接通电源预热 15 分钟后测量的参数值精度会更高。
安全及维护
1. 安全使用
产品用于有害气体或爆炸性气体须严格按照产品使用说明的限制。有关产品应用的新信息，请与厂家联系索取或访问公司网站。 强腐蚀性或氟化物气体可能影响产品正常工作，甚至对产品造成毁损。
产品经过密封处理并在装箱前进行过防漏试验，在高压下使用必须按照产品使用说明的限制，否则会导致泄漏及安全问题。 |
